近日，SISPARK毕业企业——南大光电发布公告称，公司承接的国家“02专项”之“ArF光刻胶产品的开发和产业化项目”的基础建设按计划进行；4月，公司采购的用于检测ArF（193nm）光刻胶产品性能的光刻机运入宁波南大光电工厂，5月开始进行安装调试，预计安装调试需要4-5个月的时间。公司制备ArF（193nm）光刻胶用的高纯原材料来源于自主研发，研制出的ArF（193nm）光刻胶样品正在供客户测试。南大光电在接受投资者提问时表示，公司将在新基建的发展中，紧紧抓住“替代进口”的机遇，为国内集成电路产业的发展突破瓶颈和国产化做出积极的贡献。南大光电2000年12月28日在苏州国际科技园注册成立，是最早一批入驻科技园的企业；8月，南大光电在创业板上市，是苏州国际科技园成功培育的首家园内上市企业。此前，人们比较熟知的是它是全球四大MO源生产商之一。但是，南大光电的拳头产品不仅有MO源，还有半导体产业的核心部件——光！刻！胶！大家都知道，今年5月以来，半导体市场风云激荡。在台积电曝出赴美建厂的消息之后，国人对于中芯国际是否拿到荷兰ASML的高端光刻机的消息也十分关注。然而，对于半导体代工而言，除了光刻机，光刻机的核心部件之一——光刻胶的重要性同样非比寻常。 那么，光刻胶究竟是什么？它在芯片制造领域扮演什么角色？
光刻胶是电子领域微细图形加工关键材料之一，是由感光树脂、增感剂和溶剂等主要成分组成的对光敏感的混合液体。在紫外光、深紫外光、电子束、离子束等光照或辐射下，其溶解度发生变化，经适当溶剂处理，溶去可溶性部分，最终得到所需图像。光刻胶作为技术门槛极高的电子化学品一直被国际企业垄断。随着大力研发和投入，国内企业已逐步从低端 PCB 光刻胶发展至中端半导体光刻胶的量产。半导体光刻胶根据曝光光源波长的不同来分类。常用曝光光源一共有六种，分别是紫外全谱（300～450nm）、G线（436nm）、I线（365nm）、深紫外（DUV，包括248nm和193nm）和极紫外（EUV），相对应于各曝光波长的光刻胶也应运而生。不同的光刻胶中，根据不同的需求，关键配方成份如成膜树脂、光引发剂、添加剂等也有所不同，使得光刻胶有不同的性能，进而能够满足相应的需求。目前主要的光刻胶有G线光刻胶、I线光刻胶、KrF光刻胶和ArF光刻胶四种。目前英特尔、三星等大的半导体制造商，芯片产品已经将量产工艺推进到了14nm至28nm区间，这个也代表目前量产的最高工艺。所以以上光刻胶种类里，能够采用193nm激光光源的浸润ArF线光刻胶，是唯一能够满足应用的光刻胶产品，具有极高的技术壁垒，是半导体光刻胶高精尖的代表。根据SEMI数据，全球半导体用光刻胶市场，G线&I线、KrF、ArF&液浸、ArF三类光刻胶三分天下，占比分别占24%、22%、42%。其中，ArF/液浸ArF光刻胶主要对应目前先进IC制程。随着双/多重曝光技术的使用，光刻胶使用次数增加，ArF光刻胶市场需求将加速扩大。在EUV技术成熟之前，ArF光刻胶仍将是主流。未来，随着功率半导体、传感器、LED市场的持续扩大，I线市场将持续增长。而随着精细化需求增加，I线光刻胶将被KrF光刻胶替代，KrF光刻胶市场需求将不断增加。
目前，全球半导体光刻胶领域主要被日本合成橡胶（JSR）、东京应化（TOK）、罗门哈斯、日本信越、富士材料等头部厂商垄断。相较之下，中国企业份额不足10%，半导体光刻胶和LCD光刻胶都严重依赖进口，虽然国内光刻胶产业尚不成熟，但是，中国企业已迎来加速期。根据国内晶圆厂的建设速度和规划，预计国内半导体光刻胶市场将会是的两倍，约55亿元。届时世界面板产能持续向中国转移，国内面板光刻胶市场需求预计约为105亿元。二者合计将带来约160亿元的市场空间。
在全球贸易冲突的大背景下，中国半导体产业摆脱关键技术被“卡脖子”的被动局面显得尤为迫切。光刻胶技术在半导体制造中至关重要，国产替代势在必行。目前我国半导体光刻胶生产和研发企业主要有五家，除了南大光电外，还有苏州瑞红（晶瑞股份子公司）等四家公司。南大光电于开始研发“193nm光刻胶项目”，并承担“ArF光刻胶产品的开发和产业化”02专项项目。公司已在宁波经济开发区建设25吨KrF光刻胶生产线，预计三年达产销售。虽然目前光刻胶的国产化正在加速，但半导体和 LCD 高端光刻胶技术与国外有较大差距。在自主研发，原材料依赖，厂商不易切入供应链和稳定商用等方面还是有很大的阻碍。但随着电子信息产业向中国转移和配套产业链的完善，未来进口替代是趋势所向，其中大部分中低端产品已实现进口替代，部分优秀企业已在高端产品进口替代上取得了重大突破，进口替代趋势愈加明显，国产替代或即将实现。南大光电今年4月29日发布的年报显示：，公司上下迎难而上、克难攻坚、多措并举，实现了主要经营指标的持续平稳增长。全年完成营业收入32,137.58万元，同比增长40.85%；归属于上市公司股东的净利润5,501.13万元，同比增长7.36%。
本文综合网易新闻、新浪财经报道
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