本发明涉及基板保持部件、基板处理装置、基板处理装置的控制方法、保存有用于使计算机执行基板处理装置的控制方法的程序的存储介质。
背景技术：
：：在镀覆装置中，具有对安装于基板保持件的基板进行镀覆处理的镀覆装置(例如专利文献1)。在当前使用的单面镀覆用的基板保持件中，在使基板的表面从基板保持件的开口部露出、且将基板的背面收纳于基板保持件内部的被密封的空间的状态下，对基板的表面实施镀覆处理。在这样的单面镀覆用的基板保持件中，具有因密封部的不良、劣化而引起处理液(药液)漏泄到基板保持件内部的情况。另外，具有在搬入镀覆装置前在基板的背面存在裂痕或裂纹的情况、在镀覆装置中在基板的背面产生裂痕或裂纹的情况。但是，在现有的镀覆装置中，由于没有检测基板背面的裂痕、裂纹和处理液向基板保持件内部的漏泄是在什么时刻产生的手段，所以具有以下那样的问题。首先，基板裂纹和处理液漏泄的原因调查非常花费时间，原因的确定及解决伴随着困难。另外，若放任基板裂痕或裂纹则碎片会进入镀覆槽内，而有可能对镀覆液循环系统的泵等各设备和镀覆工艺品质造成不良影响。另外，若放任处理液漏泄则在多层镀覆中，上游槽的镀覆液、其他处理液会从基板保持件的内部泄漏而向后续的镀覆槽混入，有会污染该槽的镀覆液的隐患。另外，基板的接点(晶片接点)、基板保持部件的接点有被处理液腐蚀的隐患。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第4124327号说明书技术实现要素：本发明的目的在于解决上述课题的至少一部分。根据本发明的一个技术方案，提供一种基板保持部件，具有：第1保持部件；在与上述第1保持部件之间保持基板的第2保持部件；和设在上述第1保持部件及上述第2保持部件中的至少一方的透明部。根据本发明的一个技术方案，提供一种基板处理装置，具有：在至少一部分具有透明部的、用于保持基板的基板保持部件；和经由上述基板保持部件的上述透明部对上述基板保持部件的内侧进行拍摄的摄像装置。根据本发明的一个技术方案，提供一种基板处理装置的控制方法，在上述方法中包含：在至少一部分具有透明部的基板保持部件上保持基板；经由上述基板保持部件的上述透明部对上述基板保持部件的内部进行拍摄；基于拍摄得到的图像数据来判定上述基板及/或基板保持件有无异常。另外，根据本发明的一个技术方案，提供一种保存有用于使计算机执行上述方法的程序的存储介质。附图说明图1是本发明的一个实施方式的基板处理装置的整体配置图。图2A示出基板保持件的结构例。图2B示出基板保持件的结构例。图3A示出基板装拆部中的基板保持件内部监视装置的结构例。图3B示出基板装拆部中的基板保持件内部监视装置的结构例。图4A示出搬送装置中的基板保持件内部监视装置的结构例。图4B示出搬送装置中的基板保持件内部监视装置的结构例。图5A示出基板保持件的其他结构例。图5B示出基板保持件的其他结构例。图5C示出基板保持件的其他结构例。图6示出处理槽的结构例。图7是说明基板处理装置的控制结构的说明图。图8示出基板保持件内部监视控制的流程图。附图标记说明11…基板保持件12…第1保持部件13…第2保持部件13a…开口部14…铰链15…悬吊装置17…基部30…摄像装置60…密封部件60a…唇部60b…唇部60c…透明部61a…内侧密封部61b…外侧密封部80…基台81…突条部82…支承面83…凹部88…导电体90…支承体90a…基端部90b…远位部90c…透明部90d…外周部92…电接点92a…腿部92b…接点端部100…基板处理装置101A…装载/卸载部101B…处理部102…匣盒载台103…基板搬送装置103a…搬送机械手104…对准器105…基板装拆部105a…基板装拆装置105b…固定台105c…固定盖106…旋干机107…储料器108…预湿槽109…预浸槽110a…预洗槽111…排水槽110b…清洗槽112…镀覆处理部112a…镀覆槽113…基板保持件搬送装置114…第1传送装置115…第2传送装置116…导轨120…装置计算机120A…CPU120B…存储器121…装置控制器122…图像诊断终端12a…透明部130…摄像装置131…保持架132…上下移动机构133…前后移动机构134…横向移动机构135…行进移动机构136…支柱部137…基座部141…支柱部142…臂部143…握持部144…基座部具体实施方式以下参照附图来说明本发明的实施方式。此外，在以下的各实施方式中，对相同或相当的部件标注相同的附图标记并省略重复的说明。另外，在本说明书中使用“上”、“下”、“左”、“右”等表述，它们是为了便于说明而示出例示的附图的纸面上的位置、方向的表述，具有在装置使用时等的实际配置中不同的情况。另外，某个部件与其他部件“相对于基板位于相反侧”表示以面向基板的某一个基板面的方式取位的部件、和以面向与之相反的一侧的基板面的方式取位的其他部件。此外，在基板中，具有在某一个面上形成有布线的情况、在两个面上形成有布线的情况。(第1实施方式)图1是本发明的一个实施方式的基板处理装置的整体配置图。在该例子中，基板处理装置100是电镀装置。在此，列举电镀装置为例进行说明，但本发明能够适用于包含任意镀覆装置的任意基板处理装置。基板处理装置100大致分为在基板保持件11(参照图3A、图3B)装载作为被处理物的基板W或从基板保持件11卸载基板W的装载/卸载部101A、和对基板W进行处理的处理部101B。基板W包含圆形、方形等任意形状的基板。另外，基板W包含半导体晶片、玻璃基板、液晶基板、印刷基板等被处理物。装载/卸载部101A具有多台匣盒载台(cassettetable)102、对准器104、基板装拆部105和旋干机106。匣盒载台102搭载收纳有基板W的匣盒。对准器104将基板W的定向平面或凹口等的位置向规定方向对齐。基板装拆部105具有以将基板W向基板保持件11装拆的方式构成的一个或多个基板装拆装置105a。旋干机106使镀覆处理后的基板W高速旋转而使其干燥。在这些单元的中央配置有基板搬送装置103，该基板搬送装置103具有在这些单元之间搬送基板W的搬送机械手103a。在处理部101B中，具有进行基板保持件11的保管及暂时放置的储料器107、预湿(prewet)槽108、预浸(presoak)槽109、预洗(prerinse)槽110a、排水槽111、清洗槽110b和镀覆处理部112。在预湿槽108中，基板W被浸渍于纯水。在预浸槽109中，将形成在基板W的表面上的晶种层(seedlayer)等导电层的表面的氧化膜蚀刻除去。在预洗槽110a中，将预浸后的基板W与基板保持件11一起通过清洗液(纯水等)进行清洗。在排水槽111中，进行清洗后的基板的去水。在清洗槽110b中，将镀覆后的基板W与基板保持件11一起通过清洗液进行清洗。镀覆处理部112具有多个具备溢流槽的镀覆槽112a。各镀覆槽112a在内部收纳一个基板W，并使基板W浸渍于内部所保持的镀覆液中来对基板表面进行镀铜等镀覆。在此，镀覆液的种类并没有特别限定，能够根据用途而使用各种镀覆液。此外，该基板处理装置100的处理部101B的结构为一个例子，能够采用其他结构。基板处理装置100具有位于这些各设备的侧方、且在这些各设备之间搬送基板保持件11的、采用了任意驱动方式(例如线性马达方式)的基板保持件搬送装置113。该基板保持件搬送装置113具有第1传送装置114和第2传送装置115。第1传送装置114及第2传送装置115在导轨116上行进。第1传送装置114在基板装拆部105与储料器107之间搬送基板保持件11。第2传送装置115在储料器107、预湿槽108、预浸槽109、预洗槽110a、排水槽111、清洗槽110b以及镀覆槽112a之间搬送基板保持件11。此外，也可以不具有第2传送装置115而仅具有第1传送装置114，通过第1传送装置114进行上述各部分之间的搬送。包含如以上那样构成的基板处理装置100的镀覆处理系统具有以控制上述各部分的方式构成的装置计算机120、图像诊断终端122。装置计算机120具有保存各种设定数据及各种程序的存储器120B、和执行存储器120B的程序的CPU120A。构成存储器120B的存储介质能够包含任意的易失性存储介质、及/或任意的非易失性存储介质。存储介质例如能够包含ROM、RAM、硬盘、CD-ROM、DVD-ROM、软盘等任意的一个或多个存储介质。存储器120B保存的程序例如包含进行基板搬送装置103的搬送控制的程序、进行基板保持件内部监视控制(后述)的程序、进行基板装拆部105中的基板相对于基板保持件的装拆控制的程序、进行基板保持件搬送装置113的搬送控制的程序、进行镀覆处理部112中的镀覆处理的控制的程序。另外，装置计算机120构成为能够通过有线或无线与统括控制基板处理装置100及其他关联装置的未图示的上级控制器进行通信，能够在与上级控制器所具有的数据库之间进行数据交换。图像诊断终端122具有保存各种程序的存储器122B、和执行存储器122B的程序的CPU122A。构成存储器122B的存储介质能够包含任意的易失性存储介质、及/或任意的非易失性存储介质。存储介质例如能够包含ROM、RAM、硬盘、CD-ROM、DVD-ROM、软盘等任意的一个或多个存储介质。另外，装置计算机120及/或图像诊断终端122构成为能够通过有线或无线与外部的服务器进行通信，能够将基板保持件内部监视控制(后述)中的图像处理及机械学习的至少一部分与服务器分担。图2A示出基板保持件的结构例。在此列举基板W为圆形的晶片的情况为例进行说明，对于方形等任意形状的基板，也能够同样地适用本发明。基板保持件11具有：将基板W夹在中间而保持的第1保持部件12及第2保持部件13、和用于支承基板保持件11的悬吊装置15。第1保持部件12构成为能够支承基板W，具有比基板W大的尺寸，在俯视观察时为大致矩形形状。在此基板W具有表面S1、背面S2，将表面S1设为被镀覆面，将支承在第1保持部件12上的面设为背面S2。在本例中，第1保持部件12整体由透明材料构成。换言之，由透明部12a形成第1保持部件12整体。此外，如图5A、图5B那样在第1保持部件12具有基台80和突条部(支承基台)81的情况下，可以由透明材料仅形成基台80整体，也可以由透明材料形成基台80和突条部81整体。此外，透明程度只要为能够经由第1保持部件12观察到基板保持件11的内部、即基板W的背面S2的程度即可。透明材料例如能够使用透明树脂(PET、PVC、亚克力、聚碳酸酯等)或强化玻璃等。第2保持部件13为环状部件，与第1保持部件12一起挟持基板W的外周部而进行保持。第2保持部件13的径向内侧具有使基板W的作为被镀覆面的表面S1露出的开口部13a。第2保持部件13构成为能够通过铰链14相对于第1保持部件12开闭。此外，基板保持件11的开闭机构并不限定于铰链，也可以为将第2保持部件13配置在与第1保持部件12相对的位置且使第2保持部件13朝向第1保持部件前进及后退来进行封闭及打开的结构。悬吊装置15被安装在第1保持部件12的一端侧的两侧。在悬吊装置15的至少一方上设有用于与外部电路(例如电源)连接的外部连接端子。悬吊装置15无需由透明材料构成，可以采用以往的结构。在图2A的例子中，由于第1保持部件12(或基台)整体为透明部，所以能够在将基板W保持于基板保持件11的状态下经由第1保持部件12对基板W的背面S2进行观察(视觉辨认、拍摄)及监视。在图2A的例子中，示出了在基板W的背面S2产生了裂纹(包含裂痕)16的情况。像这样，能够经由透明的第1保持部件12监视基板W的背面S2的裂纹16。另外，能够对处理液向包含外侧内部空间α及内侧内部空间β(在图5A～图5C中后述)在内的基板保持件11的内部空间的泄漏进行监视。图2B示出了基板保持件的其他结构例。在图2B的例子中，代替第1保持部件12整体由透明材料构成，而由透明材料仅构成与基板W的背面S2相对应的区域、或与包含外侧内部空间α及内侧内部空间β的密封部件60(图5A～图5C)外缘的内侧区域(包含与基板W的背面S2相对应的区域)相对应的区域，并设为透明部12a。例如，这样的第1保持部件12能够分别制成成为第1保持部件12的透明部12a及其他部分，然后通过粘结或焊接等将两者接合而制成。另外，也可以通过在第1保持部件12上形成开口部、且将成为透明部12a的材料成型(例如注塑成型、传递成型)于开口部而在第1保持部件12上设置透明部12a。另外，可以通过成型形成成为第1保持部件12的透明部12a及其他部分。与基板W的背面S2相对应的区域可以为与第1保持部件12的开口部13一致的区域(不包含被第2保持部件13密封的基板W的外周部，比基板W的直径稍小)，可以为与基板W一致的区域，也可以为比基板W稍大的区域。由于其他结构与图2A相同，所以省略说明。在图2B的例子中，由于第1保持部件12的与基板W的背面S2相对应的区域、或包含外侧内部空间α及内侧内部空间β的密封部件60(图5A～图5C)外缘的内侧区域为透明部12a，所以能够在将基板W保持于基板保持件11的状态下经由第1保持部件12的透明部12a对基板W的背面S2进行观察(视觉辨认、拍摄)及监视。在图2B的例子中，示出了在基板W的背面S2上产生了裂痕(裂纹)16的情况。像这样，能够经由第1保持部件12的透明部12a对基板W的背面S2的裂纹16进行监视。另外，在将密封部件60(图5A～图5C)外缘的内侧区域设为透明部12a的情况下，能够对处理液向包含外侧内部空间α及内侧内部空间β(图5A～图5C)的基板保持件11的内部空间的泄漏进行监视。图3A、图3B示出了基板装拆部中的基板保持件内部监视装置的结构例。在此说明基板保持件11以水平姿势对基板W进行装拆的例子，但基板保持件11也可以为以铅垂姿势对基板进行装拆的结构。基板装拆部105的基板装拆装置105a具有载置基板保持件11的固定台105b、和用于对基板保持件11进行开闭的固定盖105c。图3A示出了第2保持部件13被固定盖105c按压于第1保持部件12而基板保持件11关闭的状态。图3B示出了固定盖105c将第2保持部件13相对于第1保持部件12打开或提起第2保持部件13而打开基板保持件11的状态。此外，在此示意地示出了基板保持件11的开闭，在图2A、图2B的基板保持件11的情况下，实际上第2保持部件13以铰链14为中心进行旋转而开闭。此外，在采用将第2保持部件13配置在与第1保持部件12相对的位置且使其向第1保持部件12前进/后退的基板保持件11的开闭机构的情况下，大致与图3A、图3B所示的动作接近。将作为基板保持件内部监视装置的摄像装置130配置在设于固定台105b的凹部中。摄像装置130能够采用相机等图像传感器、或检测基板及/或基板保持件的反射率的光学传感器。相机从图像识别的观点考虑多为优选黑白相机的情况，但也可以使用彩色相机。摄像装置130也可以为能够在凹部内沿水平方向、铅垂方向移动的结构。摄像装置130在基板保持件11被载置于固定台105b上时，配置在与基板保持件11的第1保持部件12的透明部12a相对的位置。摄像装置130能够经由第1保持部件12的透明部12a对基板W的背面S2进行拍摄。拍摄图像可以为静态画面、动态画面中的任意画面。只要能够检测各时间点下的基板及/或基板保持件的异常即可。如图3A、图3B所示，摄像装置130在基板保持件11的封闭状态(图3A)及打开状态(图3B)中的任一状态下，均能够经由第1保持部件12的透明部12a对基板W的背面S2进行拍摄。此外，也可以在此基础上或取而代之，在基板保持件11打开时(图3B)能够对基板W的表面S1进行拍摄的位置处设置摄像装置，在基板保持件11打开时对基板W的表面S1进行拍摄。图4A示出了搬送装置中的基板保持件内部监视装置的结构例。在此，列举第2传送装置115为例进行说明，但对于第1传送装置114也是同样的。如图1、图4A所示，第2传送装置115具有：以能够沿着行进方向(y轴方向)在导轨116上移动的方式安装的基座部144；设在基座部144上的支柱部141；和安装在支柱部141上且沿横穿行进方向的方向(x轴方向)延伸的臂部142。在臂部142上设有能够保持基板保持件11的握持部143。在本例中，在臂部142上设置多个握持部143，使得两个基板保持件11并列地被臂部142握持(图1)。被臂部142握持的基板保持件11根据装置结构的不同，可以为一个或也可以为三个以上。第2传送装置115通过握持部143对基板保持件11进行保持及释放。第2传送装置115构成为能够进行如下动作：通过线性马达方式使基座部144沿着导轨116移动，由此能够在储料器107及各处理槽之间移动；使臂部142相对于支柱部141通过未图示的升降机构(滚珠丝杠机构、齿轮齿条机构等)上下移动，从而向储料器107及各处理槽搬入及搬出基板保持件11。此外，第1传送装置114也同样地构成为能够进行如下动作：通过线性马达方式使基座部144沿着导轨116移动，由此能够在基板装拆部105、储料器107之间移动；使臂部142相对于支柱部141通过未图示的升降机构(滚珠丝杠机构、齿轮齿条机构等)上下移动，从而向基板装拆部105、储料器107搬入及搬出基板保持件11。作为基板保持件内部监视装置的摄像装置130被保持于保持架131，保持架131经由上下移动机构132、前后移动机构133、横向移动机构134而安装在第2传送装置115的臂部142。上下移动机构132通过滚珠丝杠机构、齿轮齿条机构等驱动机构，相对于保持在第2传送装置115上的基板保持件11，使摄像装置130沿上下方向(z轴方向)移动。前后移动机构133通过滚珠丝杠机构、齿轮齿条机构等驱动机构，相对于保持在第2传送装置115上的基板保持件11，使摄像装置130沿前后方向(y轴方向)移动。横向移动机构134通过滚珠丝杠机构、齿轮齿条机构等驱动机构，相对于保持在第2传送装置115上的基板保持件11，使摄像装置130沿横向(x轴方向)移动。通过使摄像装置130沿上下、前后方向移动，而能够在对基板保持件11进行拍摄的拍摄位置、与将基板保持件11搬入处理槽时退避的退避位置之间移动。通过使摄像装置130沿左右方向移动，而能够通过一个摄像装置130依次对沿横向排列地保持在第2传送装置115的臂部142上的两个基板保持件11进行拍摄。此外，也可以相对于第2传送装置115经由各移动机构安装多个摄像装置130，并通过各摄像装置130对各基板保持件11进行拍摄。关于第1传送装置114中的基板保持件内部监视装置(摄像装置、其移动机构)的结构也是同样的。图4B是搬送装置中的基板保持件内部监视装置的其他结构例。在上述中，示出了将基板保持件内部监视装置安装于第2传送装置115的情况，但如图4B所示，也可以将基板保持件内部监视装置安装在相对于第2传送装置115独立的行进移动机构135上。在该情况下，也可以以沿着导轨116移动的方式配置行进移动机构135。在该例中，摄像装置130经由上下移动机构132、前后移动机构133、左右移动机构134而安装在行进移动机构135上。行进机构135具有：通过线性马达方式等任意驱动方式被驱动而能够沿着行进方向(y轴方向)在导轨116上移动地安装的基座部137、和设在基座部137上且安装有左右移动机构134的支柱部136。此外，也可以与第1及第2传送装置114、115同样地，在支柱部136上安装沿横穿行进方向的方向(x轴方向)延伸的臂部，且在臂部上安装左右移动机构134。(基板保持件的其他结构例)在上述中，说明了对基板保持件11内部的基板W的背面S2进行观察(视觉辨认、拍摄)的例子，但也可以对基板保持件11内部的基板W的径向外侧的内部空间(外侧内部空间)进行观察。在像这样构成的情况下，也能够检测处理液向基板保持件11内部的漏泄。另外，与对基板背面S2进行观察的情况相比，有可能能够尽早发现基板及/或基板保持部件的异常。另外，也可以将对基板背面S2的观察、和对基板保持件的外侧内部空间的观察组合。图5A至图5C示出了基板保持件的其他结构例。在该图中，示出了如下状态：在基板保持件11的第1保持部件12上载置了基板W的状态下，将第2保持部件13相对于第1保持部件12关闭，通过基板保持件11的第1保持部件12及第2保持部件13保持基板W。在图5A至图5C的例子中，基板保持件11的第2保持部件13的一部分及/或第1保持部件12的一部分构成为透明部150、12b。摄像装置130、130A经由透明部150、12b对被密封在基板保持件11的密封部件60的内周侧及外周侧的唇部60a、60b之间的空间(外侧内部空间α)进行拍摄。在图5A至图5C中，能够设置一个或多个透明部150、12b。一个或多个透明部150、12b能够设在第2保持部件13的周向上的任意位置。透明部150、透明部12b也可以在第2保持部件13的整周范围内设置。在该情况下，透明部150、12b沿着第2保持部件13配置成环状。另外，也可以将第2保持部件的全部设为透明部。在图5A至图5C中，透明部150、12b能够设于与电接点92相对应的位置、及/或其他位置。图5A及图5B的透明部150、12b在设于与电接点92相对应的位置的情况下(即在第1保持部件12或第2保持部件13的与配置有电接点92的外侧内部空间α相面对的部位设置透明部150、12b的情况下)及在整周范围内设置的情况下，适于对电接点92的腐蚀情况、电接点92与基板W的接触部位的变色进行观察。透明部150、透明部12b在以纵向对基板保持件11进行处理、搬送的情况下(参照图4A)，能够设于基板保持件11的外侧内部空间α的最下部或其附近。根据该结构，由于漏泄处理液多滞留于基板保持件11的外侧内部空间α的最下部或其附近，所以能够提高对漏泄的检测精度。图5A到图5C的结构能够在上述的基板装拆部105、基板保持件搬送装置113中适用。另外，也可以适当对将基板保持件11的第1保持部件12的一部分或全部设为透明部的结构(图2A、图2B)、将第2保持部件13的一部分或全部设为透明部的结构(图5A、图5B)和将第1保持部件12的与外侧内部空间α相对应的部分设为透明部的结构(图5C)进行组合。基板保持件11的第1保持部件12具有基台80、和设在基台80上的环状的突条部81。突条部81作为基板W的支承基台而发挥功能，且具有作为支承基板W的支承面82而发挥功能的端面。另外，突条部81在俯视观察时在周向的一个或多个部位具有凹部83。在该凹部83的底面通过螺栓等紧固部件而固定有导电体88。导电体88的一端通过缆线与设在悬吊装置15的一方或双方上的多个外部连接接点之一电连接。导电体88的另一端在俯视观察时向突条部81的径向外侧突出。此外，突条部81可以由与基台80不同的部件形成并相对于基台80安装，也可以与基台80一体地形成。另外，突条部81还可以由不同部件形成，构成为能够通过弹性部件等相对于基台80移动，吸收基板W的厚度偏差。第2保持部件13具有环状的基部17、支承体90、和被基部17及支承体90夹持而固定的密封部件60。密封部件60具有：在内周侧将基板W与第2保持部件13之间密封的作为基板密封部的唇部60a、和在外周侧将第1保持部件12与第2保持部件13之间密封的作为保持件密封部的唇部60b。通过密封部件60的唇部60a、60b将基板W的外周部及背面S2密封，将该密封的空间称为基板保持件11的内部或内部空间。基板保持件11的内部或内部空间包含成为基板W的外周侧的外侧内部空间α、和成为基板W的背面S2侧的内部内侧空间β。此外，唇部60b相当于密封部件60的外缘。另外，在支承体90上通过螺栓等紧固部件而固定有用于向基板W供给电流的电接点92。电接点92具有腿部92a和接点端部92b。腿部92a在第2保持部件13相对于第1保持部件12关闭时，与第1保持部件12的导电体88接触，将导电体88和电接点92电连接。接点端部92b具有弹性地设成板簧状，在第2保持部件13相对于第1保持部件12关闭时，与基板W的外周部接触，将电接点92和基板W电连接。由此，将设于悬吊装置15的至少一方的外部连接接点经由导电体88、电接点92而与基板W电连接，从外部电源经由外部连接接点、导电体88、电接点92向基板W供给电流。在图5A的例子中，透明部150在能够从侧方对基板保持件11的外侧内部空间α进行观察的位置处设于第2保持部件13。图5A的透明部150例如如以下那样设置。在密封部件60及支承体90中在供透明部150设置的一个或多个部分形成开口部，在密封部件60及支承体90中的一个或多个开口部中插入透明部150，将透明部150固定于密封部件60及支承体90。固定方法能够采用粘结、熔接等接合、基于紧固部件的紧固、其他任意的固定方法。在该情况下，透明部150可以为一体的部件，也可以为多个部件的组合。另外，也可以由透明部60c和透明部90c构成透明部150。在该情况下，在密封部件60中在供透明部60c设置的一个或多个部分形成开口部，在密封部件60的一个或多个开口部中插入透明部60c，将透明部60c固定于密封部件60。另外，在支承体90中在供透明部90c设置的一个或多个部分形成开口部，在支承体90的一个或多个开口部中插入透明部90c，将透明部90c固定于支承体90。固定方法能够采用粘结、熔接等接合、基于紧固部件的紧固、其他任意的固定方法。另外，也可以通过在密封部件60及支承体90的一个或多个开口部中将成为透明部60c及透明部90c的材料成型(例如注塑成型、传递成型)来设置透明部60c及透明部90c。另外，可以通过成型形成密封部件60的各部分(透明部60c、其他部分)。可以通过成型形成支承体90的各部分(透明部90c、其他部分)。另外，在第2保持部件13的整周范围内设置透明部150的情况下，能够如以下那样在密封部件60及支承体90上设置透明部150。关于密封部件60，具有唇部60a的内侧密封部61a、具有唇部60b的外侧密封部61b和透明部60c分体地形成，将它们相互固定。固定方法能够采用粘结、熔接等接合、基于紧固部件的紧固、其他任意的固定方法。内侧密封部61a、外侧密封部61b也可以分别进一步分割而形成。关于支承体90，基端部90a、远位部90b和透明部90c分别分体地形成，相互固定。固定方法能够采用粘结、熔接等接合、基于紧固部件的紧固、其他任意的固定方法。另外，也可以代替由透明部60c、透明部90c构成透明部150，而设为一体的透明部。在该情况下，也可以相对于一体的透明部150固定密封部件60的内侧密封部61a、外侧密封部61b、以及支承体90的基端部90a、远位部90b。摄像装置130在基板保持件11的径向外侧，在与透明部150相对的位置处对基板保持件11的内部(在本例中为外侧内部空间α)进行拍摄。也可以设置用于使摄像装置130在对基板保持件11的内部进行拍摄的拍摄位置、与不干涉基板保持件11的开闭动作、第1及第2传送装置114、115中的移动的退避位置之间移动的移动机构。另外，还可以设置能够使摄像装置130沿着第2保持部件13的周向移动的移动机构。在图5A的例子中，摄像装置130经由设在第2保持部件13的外周面上的一个或多个透明部150，对被密封在基板保持件11的密封部件的内周侧及外周侧的唇部60a、60b之间的外侧内部空间α进行拍摄。拍摄图像可以为静态画面、动态画面中的任意画面。基于摄像装置130拍摄得到的图像数据，判定处理液有无向外侧内部空间α漏泄。另外，也可以除了判定有无漏泄以外，还判定漏泄的程度。在图5B的例子中，透明部150在第2保持部件13中在能够从基板保持件11的正面侧对外侧内部空间α进行观察的位置处设在与第1保持部件12相对的部分上。摄像装置130经由设在第2保持部件13的基端面(图5A、图5B中的上表面)上的透明部150，朝向第1保持部件12对基板保持件11的外侧内部空间α进行拍摄。基于由摄像装置130拍摄得到的图像数据，判定处理液有无向密封空间α漏泄。另外，也可以除了判定有无漏泄以外，还判定漏泄的程度。拍摄图像可以为静态画面、动态画面中的任意画面。图5B的透明部150例如如以下那样设置。在基部17及密封部件60的供透明部150设置的一个或多个部分形成开口部，并且在支承体90的供透明部150设置的一个或多个部分形成切缺部，将透明部150插入于开口部及切缺部，将透明部150固定于基部17、密封部件60及支承体90。支承体90在俯视观察时为环状，在设有透明部90c的一个或多个位置中，形成有径向内侧开口的切缺部。固定方法能够采用粘结、熔接等接合、基于紧固部件的紧固、其他任意的固定方法。透明部150可以为一体的部件，也可以为多个部件的组合。另外，也可以由透明部17c、透明部60c和透明部90c构成透明部150。在该情况下，在基部17中在供透明部17c设置的一个或多个部分形成开口部，在基部17的一个或多个开口部中插入透明部17c，将透明部17c固定于基部17。在密封部件60中在供透明部60c设置的一个或多个部分形成开口部，在密封部件60的一个或多个开口部中插入透明部60c，将透明部60c固定于密封部件60。另外，在支承体90中在供透明部90c设置的一个或多个部分形成切缺部，在支承体90的一个或多个切缺部中插入透明部90c，将透明部90c固定于支承体90。固定方法能够采用粘结、熔接等接合、基于紧固部件的紧固、其他任意的固定方法。另外，也可以通过在基部17的一个或多个开口部、密封部件60的一个或多个开口部、支承体90的一个或多个切缺部中分别将成为透明部17c、透明部60c及透明部90c的材料成型(例如注塑成型、传递成型)，而设置透明部17c、透明部60c及透明部90c。另外，可以通过成型形成基体17的各部分(透明部17c、其他部分)。可以通过成型形成密封部件60的各部分(透明部60c、其他部分)。可以通过成型形成支承体90的各部分(透明部90c、其他部分)。另外，在第2保持部件13的整周范围内设置透明部150的情况下，能够如以下那样，在基部17、密封部件60及支承体90上设置透明部150。关于基部17，内周部17a、外周部17b和透明部17c分体地形成，将它们相互固定。固定方法能够采用粘结、熔接等接合、基于紧固部件的紧固、其他任意的固定方法。关于密封部件60，具有唇部60a的内侧密封部61a、具有唇部60b的外侧密封部61b和透明部60c分体地形成，将它们相互固定。固定方法能够采用粘结、熔接等接合、基于紧固部件的紧固、其他任意的固定方法。内侧密封部61a、外侧密封部61b分别也可以进一步分割而形成。关于支承体90，外周部90d和透明部90c分别分体地形成，相互固定。固定方法能够采用粘结、熔接等接合、基于紧固部件的紧固、其他任意的固定方法。另外，也可以代替由透明部17c、透明部60c、透明部90c构成透明部150，而设为一体的透明部。在该情况下，可以相对于一体的透明部150，将基部17的内周部17a、外周部17b、密封部件60的内侧密封部61a、外侧密封部61b以及支承体90的外周部90d固定。在图5B的例子中，摄像装置130经由设在第2保持部件13的基端面上的一个或多个透明部150，对基板保持件11的外侧内部空间α进行拍摄。基于由摄像装置130拍摄得到的图像数据，判定处理液有无向密封空间α漏泄。另外，也可以除了判定有无漏泄以外，还判定泄漏的程度。拍摄图像可以为静态画面、动态画面中的任意画面。在图5C的例子中，将第1保持部件12的基台80的与外侧内部空间α相对应的部分设为透明部12b。由于漏泄的处理液多滞留于外侧内部空间α内的突条部(支承基台)81的外侧，所以将基台80的对应部分设为透明部12b，通过摄像装置130经由透明部12b对外侧内部空间α进行拍摄。在如本实施方式那样以纵向对基板保持件11进行处理、搬送的情况下(参照图4A)，由于漏泄处理液多滞留于位于基板保持件11的外侧内部空间α的最下部的突条部81的外侧，所以期望在基板保持件11的相对应的位置处设置透明部12b。图5C的透明部12b的结构在设于与电接点92相对应的位置的情况下，适于对电接点92或导电体88的腐蚀情况、进入到外侧内部空间α中的处理液自身进行观察。摄像装置130A经由设在第1保持部件12上的透明部12b对基板保持件11的外侧内部空间α进行拍摄。基于由摄像装置130A拍摄得到的图像数据，判定处理液有无向密封空间α漏泄。另外，也可以除了判定有无漏泄以外，还判定漏泄的程度。拍摄图像可以为静态画面、动态画面中的任意画面。图5C的透明部12b例如如以下那样设置。在第1保持部件12中在供透明部12b设置的一个或多个部分形成开口部，在第1保持部件12的一个或多个开口部中插入透明部12b，将透明部12b固定于第1保持部件12。固定方法能够采用粘结、熔接等接合、基于紧固部件的紧固、其他任意的固定方法。另外，也可以通过在第1保持部件12的一个或多个开口部中将成为透明部12b的材料成型(例如注塑成型、传递成型)，而在第1保持部件12上设置透明部12b。另外，可以通过成型形成第1保持部件12的各部分(透明部12b、其他部分)。另外，在第2保持部件13的整周范围内设置透明部12b的情况下，在第1保持部件12中形成供透明部12b设置的环状的狭缝，在该环状的狭缝中插入透明部12b，将透明部12b固定于第1保持部件12。固定方法能够采用粘结、熔接等接合、基于紧固部件的紧固、其他任意的固定方法。另外，也可以通过在第1保持部件12的环状的狭缝中将成为透明部12b的材料成型(例如注塑成型、传递成型)，而在第1保持部件12上设置透明部12b。另外，可以通过成型形成第1保持部件12的各部分(透明部12b、其他部分)。可以对图5A的透明部150、图5B的透明部150的结构、和图5C的透明部12b的结构中的至少两者进行组合。另外，也可以由透明材料形成第2保持部件13整体而将其设为透明部。在上述中，说明了由透明材料形成基部、密封部件、支承体的一部分的例子，但也可以由透明材料形成基部、密封部件、支承体中的一个或多个的整体。例如，可以由透明材料形成基部、密封部件及支承体整体。此外，也可以对图2A或图2B的透明部12a的结构、图5A的透明部150的结构、图5B的透明部150的结构和图5C的透明部12b中的至少两者进行组合。图6示出了处理槽的结构例。如该图所示，可以是在一个或多个处理槽中，使侧壁的一部分或全部为透明材质的透明部150’，在基板保持件11处于处理槽内的状态下，能够经由处理槽的透明部150’、基板保持件11的透明部150，对基板保持件内部进行拍摄。(控制结构)图7是说明基板处理装置的控制结构的说明图。基板处理装置100主要由装置计算机120、装置控制器121和图像诊断终端122控制。装置计算机120、装置控制器121及图像诊断终端122协作来执行包含基板保持件内部监视控制(后述)在内的基板处理装置100的各种控制。装置控制器121由例如顺序控制器(sequencer)等构成，基于来自装置计算机120的控制指令、设定参数等，控制包含搬送设备400及摄像设备300在内的基板处理装置100的各部分。在此，搬送设备400包含基板搬送装置103和基板保持件搬送装置113。摄像设备300包含摄像装置130及其移动机构(131～134等)。如上所述，图像诊断终端122是包含存储器122B、CPU122A的计算机。图像诊断终端122对由摄像装置130拍摄得到的图像数据实施图像识别处理，诊断基板W及/或基板保持件11的状态。图像诊断终端122将基板W及/或基板保持件11有无异常及/或异常程度输出到装置控制器121。装置控制器121在基板W及/或基板保持件11具有异常的情况下或在异常程度为规定以上的情况下，将警报输出到装置计算机120。图像诊断终端122可以经由有线或无线而与基板处理装置100的外部的服务器123连接。在该情况下，图像诊断终端122从由摄像装置130拍摄得到的图像数据抽出或计算出特征量(图像的浓淡、浓淡的轮廓、颜色差异、颜色差异的轮廓等)，将其输出到服务器123。服务器123可以基于从图像诊断终端122接收到的图像数据的特征量，进行图像诊断处理，将图像诊断的结果发送到图像诊断终端122。另外，也可以是，经由有线或无线将该基板处理装置100以外的一个或多个基板处理装置100-1～100-n与服务器123连接，在服务器123中，对从基板处理装置100、100-1～100-n中的一个或多个基板处理装置收集到的图像数据，进行图像诊断处理，将图像诊断的结果发送到图像诊断终端122。能够对图像诊断终端122及/或服务器123中的图像识别处理使用深度学习等。图像识别处理可以具有：将正常时及/或异常时的基板W的图像数据蓄存为示教数据且使用多层深度神经网络(DNN)进行学习的步骤；和推测异常等级的步骤。可以在设计阶段及/或在装置运转前，收集大量的示教数据，使图像诊断终端122预先学习后再组入到装置。异常等级例如能够如“未发生”、“轻微”、“轻度”、“中度”、“重度”这样划分成多个分类。“未发生”表示基板及/或基板保持件正常。图像诊断例如可以基于图像数据中的浓淡及/或颜色不同的区域的面积、宽度、及/或长度来实施。也可以使用基于图像数据中的浓淡及/或颜色不同的区域的面积、宽度、及/或长度将异常程度数值化的数据来推定异常等级。可以按每个等级分配可否继续使用基板及/或基板保持件、可否回收等。可以将多个基板保持件的图像数据与诊断结果一起汇集于服务器123，并设置按每个基板保持件单一地显示状态(诊断结果、例如有无异常、异常等级)的监视器。也可以根据多个基板处理装置中的大量的基板保持件的监视图像计算出特征量，将该特征量数据发送到服务器，在多层深度神经网络(DNN)上使其学习，使用已经学习到的DNN参数在基板处理装置侧诊断基板及/或基板保持件的状态。DNN参数例如能够包含用于判断有无异常或异常等级的阈值等判断基准。另外，也可以根据多个基板处理装置中的大量的基板保持件的监视图像(包含基板保持件的内部空间、基板面的图像)计算出特征量，将该特征量数据发送到服务器，在多层深度神经网络(DNN)上使其学习，在服务器123中，诊断基板及/或基板保持件的状态。还可以为了学习而对汇集于服务器123的特征量数据预先附加示教数据。另外，可以通过雾计算(FogComputing)或边缘计算(EdgeComputing)结构将多个基板处理装置的计算机和图像诊断服务器123连接。对于检测出基板及/或基板保持件的异常的基板保持件，可以向使用者进行通知。另外，在检测出基板及/或基板保持件的异常的情况下，当在制中的基板处理结束后，可以将基板保持件设为无法使用而返回到储料器，或者也可以为了调查而继续使用该基板保持件。也能够根据诊断结果的等级而使检测出基板及/或基板保持件的异常的基板保持件不可向后续的处理槽投入。在设为不可的情况下，不进行基板的后续处理，而进行基板保持件的清洗、干燥等，将其返回到匣盒。另外，可以在检测出基板及/或基板保持件的异常的情况下，在妨碍对基板进行卸载处理时，将保持基板的基板保持件返回到储料器，并通知该主旨。另外，也可以通过同样的图像识别处理来诊断基板保持件的透明部中的透明部劣化，并通知基板保持件的清洁或更换推荐时期。另外，在将处理槽的一部分或全部设为透明部的情况下，也可以通过同样的图像识别处理来诊断透明部的劣化。如上述那样，摄像装置130设为能够与基板保持件搬送装置113一起移动，但也可以将一个或多个摄像装置130设置在能够对基板处理装置100内的基板保持件11进行拍摄的位置。在该情况下，摄像装置130可以在设置位置处能够在拍摄位置和退避位置移动。另外，摄像装置130也可以能够在与基板保持件的多个透明部相对的拍摄位置之间移动。(控制流程)图8是基板保持件内部监视控制的流程图。在步骤S10中，装置控制器121判定是否成为基板保持件11的拍摄时刻。在不为拍摄时刻的情况下，重复步骤S10的处理直至成为拍摄时刻。拍摄时刻至少包含以下的一个或多个时刻。(1)在基板装拆部105中向基板保持件11安装处理前的基板W时，在第1保持部件12上设置基板W且关闭2保持部件13的前后(图3A、图3B)；(2)在基板装拆部105中使处理后的基板W脱离基板保持件11时，相对于保持基板W的第1保持部件12打开第2保持部件13的前后(图3A、图3B)；(3)通过第1或第2传送装置114、115搬送基板保持件11的过程中(图4A、图4B)；(4)在通过第2传送装置115从各处理槽取出了基板保持件11时(图4A、图4B)；(5)在各处理槽中对基板W进行处理的过程中(图6)；(6)在通过第1传送装置114将基板保持件11从储料器107取出时(图4A、图4B)。在步骤S10中判定成到达了某个时刻的情况下，在步骤S20中，装置控制器121控制摄像设备300，经由基板保持件11的透明部12a、12b、150，对基板保持件11的内部进行拍摄。该拍摄包含以下一个或多个拍摄：在上述(1)至(6)的时刻经由基板保持件11的背面对基板W的背面S2进行拍摄(图3A、图3B、图4A、图4B)；在上述(1)至(6)的时刻对基板保持件11的外侧内部空间α、内侧内部空间β进行拍摄(图5A、图5B)。在各处理槽中对基板W进行处理的过程中对基板保持件11的内部进行拍摄的情况下((5)的情况下)，如图6所示，经由处理槽的透明部150’、基板保持件11的透明部12a、12b、150对基板保持件11的内部进行拍摄。另外，例如也可以从图5A及图5B所示的拍摄方向那样的多个方向对外侧内部空间α进行拍摄。在图2A、图2B的基板保持件11的结构中，在没有保持基板W的状态下从基板保持件11的第1保持部件12侧对内部进行拍摄的情况下，对基板保持件11的内侧内部空间β(图5A、图5B)、外侧内部空间α进行拍摄。在步骤S30中，图像诊断终端122根据拍摄得到的图像数据计算出特征量。特征量包含基板W的背面S2的图像、外侧内部空间α、内侧内部空间β的图像的浓淡、浓淡的轮廓(及/或颜色差异、颜色差异的轮廓)。另外，也可以是，图像诊断终端122将拍摄得到的图像数据发送到服务器123，在服务器123中根据图像数据计算出特征量。在步骤S40中，图像诊断终端122使用预先存储的图像数据或图像数据的特征量、以及在步骤S30中获取到的图像数据的特征量，更新DNN参数，将其优化。DNN参数包含用于判定基板及/或基板保持件有无异常及/或异常等级的阈值等判断基准的值。此外，也可以是，图像诊断终端122将图像数据或计算出的特征量发送到服务器123，在服务器123中，使用预先存储的图像数据或图像数据的特征量以及本次发送来的图像数据或计算出的特征量，更新DNN参数，将其优化。可以在服务器123中，根据图像数据计算出特征量。在步骤S50中，图像诊断终端122使用预先存储的DNN参数、或在S40中由图像诊断终端122或服务器123优化的DNN参数，并根据从拍摄得到的图像数据计算出的特征量，推定基板及/或基板保持件有无异常及/或异常等级。基板W的异常包含基板W的裂纹、处理液向基板保持件11内部的漏泄。基板保持件11的异常包含处理液的漏泄(因密封部件的劣化等引起的漏泄)。处理液包含收纳在预湿槽108、预浸槽109、预洗槽110a、排水槽111、清洗槽110b、镀覆槽112a中的处理液(纯水、蚀刻溶液、镀覆液等)。也可以将异常等级按每个异常种类(基板裂纹、漏泄)如例如“未发生”(无异常)、“轻微”、“轻度”、“中度”、“重度”这样划分成多个分类。图像诊断终端122将诊断结果输出到装置控制器121，装置控制器121进一步将诊断结果发送到装置计算机120。在步骤S60中，图像诊断终端122按每个异常种类，判定基板及/或基板保持件的异常(基板W的裂纹、处理液漏泄)等级是否超过了阈值，将该诊断结果输出到装置控制器121。阈值按每个异常种类设定成需要向使用者通知的值。例如，可以设为上述多个分类中的中度或重度。在步骤S60中判定成基板及/或基板保持件的异常等级为阈值以下的情况下，接收到该诊断结果的装置控制器121使用该基板保持件11继续进行基板处理(步骤S70)，返回到步骤S10。在步骤S60中判定成基板或基板保持件的某种异常超过阈值的情况下，接收到该诊断结果的装置控制器121发出在基板W中具有异常(基板W的裂纹、处理液漏泄)的主旨的警报(步骤S80)。另外，在步骤S90中，装置控制器121控制搬送设备400，将基板W回收到匣盒，并且将基板保持件11回收到储料器107，返回到步骤S10。根据上述实施方式，能够经由基板保持件的透明部对基板保持件的内部、基板进行观察、监视，因此能够掌握在基板处理装置中的处理过程中的哪个时刻基板及/或基板保持件产生了异常，从而能够缩短查明异常原因所花费的时间。另外，能够在检测出异常的时刻，防止该基板保持件向后续处理槽等各部分搬入，因此能够防止基板的碎片向后续的处理槽等各部分落下、因漏泄的处理液导致的污染。另外，通过将基板保持件内部的基板背面的拍摄、基板保持件的外侧内部空间的拍摄组合，与对某一方的拍摄图像进行监视的情况相比能够尽早检测出处理液的漏泄，从而能够提高异常检测精度。另外，通过从多个方向对基板保持件的外侧内部空间α进行拍摄(图5A、图5B)，而能够提高外侧内部空间的图像识别精度。(其他实施方式)此外，在上述中，叙述了用于保持圆形晶片的单面镀覆用的基板保持件，但在保持方形等任意形状的基板的基板保持件、用于对任意形状的基板的两面进行镀覆的基板保持件中，通过由透明部构成基板保持件的一部分，而也能够适用上述实施方式。在上述实施方式中，说明了经由基板保持件的透明部对内部进行拍摄的情况，但可以在基板保持件打开时(例如在图3B的状态下)，对基板的表面S1进行拍摄，并通过上述同样的图像识别处理，对基板的表面S1的状态进行诊断(异常检测)，也可以除了基板的表面S1的拍摄图像以外，还将基板背面的拍摄图像、基板保持件的内侧、外侧内部空间的拍摄图像组合，对状态进行诊断(异常检测)。例如，在镀覆处理后将基板保持件11打开时，通过对基板的表面S1进行拍摄，而能够高精度地检测处理液向基板外周部的漏泄。从上述实施方式至少掌握以下的技术思想。根据第1方式，提供一种基板保持部件，具有：第1保持部件；在与上述第1保持部件之间保持基板的第2保持部件；和设在上述第1保持部件及上述第2保持部件中的至少一方的透明部。根据该方式，能够经由透明部对基板保持部件的内部、及/或基板保持部件的内部的基板的面进行观察、监视，而检测出基板及/或基板保持件的异常。由此，能够在基板处理装置内的一个或多个位置处对基板保持部件的内部进行观察、监视。另外，能够在基板处理装置内的一个或多个恰当的地方及/或时间点，经由透明部对基板保持部件的内部及/或基板保持部件的内部的基板进行观察、监视。由于能够掌握基板及/或基板保持部件的异常发生的时间点，所以能够缩短查明异常原因所花费的时间，而实现装置的生产率提高。另外，由于能够在检测出基板裂纹的时间点，防止基板保持部件向后续的处理槽投入，所以能够防止基板的碎片向后续的处理槽落下。另外，由于能够在检测出处理液向基板保持部件内部漏泄的时间点，防止基板保持部件向后续的处理槽投入，所以能够防止因漏泄的处理液导致的后续的处理槽的污染。另外，能够防止因漏泄的处理液导致基板及基板保持部件的接点被腐蚀。此外，也可以除了对基板保持部件内部的基板的面进行观察、监视以外，或取而代之，对从基板保持部件露出的基板的面进行观察、监视。本方式能够适用于圆形、方形等任意形状的基板用的基板保持部件。根据第2方式，在第1方式的基板保持部件中，上述透明部构成为能够经由该透明部对上述第1保持部件及/或上述第2保持部件的内部进行观察。根据该方式，透明部构成为具有能够对基板保持部件的内部进行观察的透明度。由此，能够经由透明部对基板保持部件的内部、基板保持部件内部的基板的面进行观察、监视。根据第3方式，在第1方式的基板保持部件中，上述第2保持部件具有使上述基板的第1面露出的开口部，上述透明部至少在与上述基板的上述第1面的相反侧的第2面相对应的部分中，设于上述第1保持部件。能够在将基板保持于基板保持部件的状态下，对收纳在基板保持部件的内部的基板背面进行观察、监视。上述第1保持部件具有：基台；和设在上述基台上且具有支承上述基板的支承面的支承部，上述基台整体能够形成为上述透明部。在该情况下，由于由透明材料形成基台整体，所以容易制造。上述支承部还能够形成为上述透明部。在该情况下，由于进一步支承部透明，所以能够对连基板背面的外周部都包含在内的整个区域进行观察、监视。根据第4方式，在第1方式的基板保持部件中，上述第2保持部件具有：将上述基板与上述第2保持部件之间密封的第1密封部；和将上述第1保持部件与上述第2保持部件之间密封的第2密封部，上述透明部以能够对被上述第1密封部件和上述第2密封部件密封的空间进行观察的方式设于上述第1保持部件及/或上述第2保持部件。根据该方式，能够对基板保持部件内部的基板外侧的空间(外侧内部空间)进行观察、监视。上述透明部能够在可从上述基板保持部件的径向外侧对被上述第1密封部件和上述第2密封部件密封的空间进行观察的位置处设于上述第2保持部件。在该情况下，能够从基板保持部件的侧方对基板保持部件的外侧内部空间进行观察、监视。上述透明部能够在可从上述第2保持部件朝向上述第1保持部件的方向对被上述第1密封部件和上述第2密封部件密封的空间进行观察的位置处，设于上述第2保持部件。在该情况下，能够从基板保持部件的正面侧对基板保持部件的外侧内部空间进行观察、监视。根据第5方式，在第4方式的基板保持部件中，上述透明部在上述基板保持部件被以纵向支承时，与在上述被密封的空间中成为最下部的位置相对应地设置。根据该方式，在以纵向对基板保持部件进行处理的情况下，能够经由透明部对漏泄的处理液容易蓄存的密封空间最下部进行观察，因此能够提高处理液漏泄的检测精度。根据第6方式，在第4方式的基板保持部件中，上述透明部在上述第1保持部件及/或上述第2保持部件中，设在与用于向上述基板供给电流的电接点相对应的位置。根据该方式，能够经由透明部对电接点的腐蚀情况、电接点与基板的接触部位的变色进行监视。根据第7方式，提供具有第1至6方式中任一基板保持部件的基板处理装置。根据该方式，起到在第1至6方式中叙述的作用效果。根据第8方式，提供一种基板处理装置，具有：在至少一部分具有透明部的、用于保持基板的基板保持部件；和经由上述基板保持部件的上述透明部对上述基板保持部件的内侧进行拍摄的摄像装置。根据该方式，起到与第1方式相同的作用效果。另外，由于通过摄像装置进行观察、监视，所以能够经由图像识别处理实现基板及/或基板保持部件的异常检测的自动化。该方式也能够适用于圆形、方形等任意形状的基板用的基板保持部件。根据第9方式，在第8方式的基板处理装置中，还具有用于使上述基板相对于上述基板保持部件装拆的基板装拆部，上述摄像装置配置于上述基板装拆部。根据该方式，能够在将处理前的基板设置到基板保持部件的时刻、将处理后的基板从基板保持部件拆下的时刻，对基板保持部件及/或基板进行观察、监视。根据第10方式，在第8方式的基板处理装置中，还具有搬送上述基板保持部件的搬送装置，上述摄像装置以对保持于上述搬送装置的上述基板保持部件的内部进行拍摄的方式配置。根据该方式，能够在将基板保持部件保持于搬送装置的期间，在适当的时刻对基板及/或基板保持部件进行观察、监视。例如，能够在将基板保持部件从基板装拆部搬送到储料器或处理槽的期间、在将基板从处理槽吊起的时间点、在处理槽与储料器之间搬送的期间，对基板及/或基板保持部件进行观察、监视。根据第11方式，在第10方式的基板处理装置中，上述摄像装置被安装于上述搬送装置。根据该方式，能够在基板处理装置内通过搬送装置使摄像装置移动，因此无需另行设置摄像装置用的移动机构。根据第12方式，在第10方式的基板处理装置中，上述摄像装置被安装在相对于上述搬送装置独立的移动机构上。根据该方式，能够使摄像装置相对于基板保持部件及搬送机构独立地移动。根据第13方式，在第8方式的基板处理装置中，还具有用于对上述基板进行处理的处理槽，上述处理槽的至少一部分由透明材质形成，上述摄像装置在上述基板保持部件被设置于上述处理槽内时，经由上述处理槽的上述透明材质的部分、上述基板保持部件的上述透明部，对上述基板保持部件的内侧进行拍摄。根据该方式，能够在处理槽内对被基板保持部件保持的基板进行处理的过程中，经由处理槽的透明部分、基板保持部件的透明部，对基板保持部件的内部、及/或基板保持部件的内部的基板进行观察、监视。根据第14方式，在第8至13方式中的任一基板处理装置中，上述摄像装置对上述基板保持部件内部的上述基板的面、以及上述基板保持部件内部的上述基板的径向外侧的被密封的空间中的至少一方进行拍摄，上述基板处理装置还具有基于拍摄得到的图像数据检测上述基板及/或上述基板保持部件的异常的控制装置。根据该方式，通过控制装置对拍摄得到的图像数据进行运算，而能够检测基板及/或基板保持部件的异常。根据第15方式，在第14方式的基板处理装置中，上述控制装置基于上述基板的正常及/或异常时的多个图像，学习对上述基板及/或基板保持件有无异常及/或异常程度进行判定的判定基准，使用上述学习到的判定基准，根据上述图像数据判定上述基板及/或基板保持件有无异常及/或异常程度。根据该方式，通过例如多层深度神经网络等的机械学习，而学习判定异常的基准，因此能够提高判定精度、检测精度。根据第16方式，在第14方式的基板处理装置中，上述基板处理装置经由有线或无线而与服务器连接，其中该服务器对基于从多个基板处理装置收集到的图像数据判定上述基板及/或基板保持件有无异常及/或异常程度的判定基准进行学习，上述控制装置基于在上述服务器中学习到的判定基准，根据上述拍摄得到的图像数据判定上述基板及/或基板保持件有无异常及/或异常程度。根据该方式，在判定基板及/或基板保持部件的异常时，能够使用该基板处理装置以外的基板处理装置中的基于拍摄图像数据的判定基准，或将该基板处理装置以外的基板处理装置中的基于拍摄图像数据的判定基准以及该基板处理装置中的基于拍摄图像数据的判定基准组合使用，因此能够提高判定精度、检测精度。根据第17方式，在第14至16方式中的任一基板处理装置中，上述基板及/或上述基板保持部件的异常包含上述基板的裂痕、及处理液向上述基板保持部件内的泄漏中的至少一方。根据第18方式，在第14方式的基板处理装置中，上述控制装置基于上述图像数据，判定上述透明部的透明度的劣化。根据该方式，能够预防拍摄图像的劣化，从而能够提高检测处理的可靠性。根据第19方式，提供一种基板处理装置的控制方法，该方法包含：在至少一部分具有透明部的基板保持部件上保持基板；经由上述基板保持部件的上述透明部对上述基板保持部件的内部进行拍摄；和基于拍摄得到的图像数据来检测上述基板及/或上述基板保持部件的异常。根据该方式，起到与第1方式相同的作用效果。本方式能够适用于圆形、方形等任意形状的基板用的基板保持部件。根据第20方式，提供一种存储介质，保存有用于使计算机执行控制基板处理装置的方法的程序，该程序用于使计算机执行如下处理：在至少一部分具有透明部的基板保持部件上保持基板；经由上述基板保持部件的上述透明部对上述基板保持部件的内部进行拍摄；基于拍摄得到的图像数据来检测上述基板及/或基板保持件的异常。根据该方式，起到与第1方式相同的作用效果。本方式能够适用于圆形、方形等任意形状的基板用的基板保持部件。以上，基于几个例子说明了本发明的实施方式，但上述发明的实施方式是为了使本发明容易理解的实施方式，并不限定本发明。本发明能够不脱离其主旨地进行变更、改进，并且在本发明中当然也包含其均等物。另外，在能够解决上述课题的至少一部分课题的范围、或起到至少一部分效果的范围内，能够进行权利要求书及说明书所记载的各结构要素的任意组合或省略。本申请基于2月13日提出的日本申请号特愿-023302号主张优先权。通过参照，将包含2月13日提出的日本申请号特愿-023302号的说明书、权利要求书、摘要在内的所有公开内容作为整体组入到本申请。通过参照，将包含日本专利第4124327号(专利文献1)的说明书、权利要求书、摘要在内的所有公开内容作为整体组入到本申请。当前第1页1 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技术特征：
1.一种基板保持部件，其特征在于，具有：
第1保持部件；
在与所述第1保持部件之间保持基板的第2保持部件；和
设在所述第1保持部件及所述第2保持部件中的至少一方的透明部。
2.如权利要求1所述的基板保持部件，其特征在于，
所述透明部构成为能够经由该透明部对所述第1保持部件及/或所述第2保持部件的内部进行观察。
3.如权利要求1所述的基板保持部件，其特征在于，
所述第2保持部件具有使所述基板的第1面露出的开口部，
所述透明部至少在与所述基板的所述第1面的相反侧的第2面相对应的部分中，设于所述第1保持部件。
4.如权利要求1所述的基板保持部件，其特征在于，
所述第2保持部件具有：将所述基板与所述第2保持部件之间密封的第1密封部；和将所述第1保持部件与所述第2保持部件之间密封的第2密封部，
所述透明部以能够对被所述第1密封部件和所述第2密封部件密封的空间内进行观察的方式设于所述第1保持部件及/或所述第2保持部件。
5.如权利要求4所述的基板保持部件，其特征在于，
所述透明部在所述基板保持部件被以纵向支承时，与在被密封的所述空间中成为最下部的位置相对应地设置。
6.如权利要求4所述的基板保持部件，其特征在于，
所述透明部在所述第1保持部件及/或所述第2保持部件中，设在与用于向所述基板供给电流的电接点相对应的位置。
7.一种基板处理装置，其特征在于，
具有权利要求1至6中任一项所述的基板保持部件。
8.一种基板处理装置，其特征在于，具有：
在至少一部分上具有透明部的、用于保持基板的基板保持部件；和
经由所述基板保持部件的所述透明部对所述基板保持部件的内侧进行拍摄的摄像装置。
9.如权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于，
还具有用于使所述基板相对于所述基板保持部件装拆的基板装拆部，
所述摄像装置配置于所述基板装拆部。
10.如权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于，
还具有搬送所述基板保持部件的搬送装置，
所述摄像装置以对保持于所述搬送装置的所述基板保持部件的内部进行拍摄的方式配置。
11.如权利要求10所述的基板处理装置，其特征在于，
所述摄像装置被安装在所述搬送装置上。
12.如权利要求10所述的基板处理装置，其特征在于，
所述摄像装置被安装在相对于所述搬送装置独立的移动机构上。
13.如权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于，
还具有用于对所述基板进行处理的处理槽，
所述处理槽的至少一部分由透明材质形成，
所述摄像装置在所述基板保持部件被设置于所述处理槽内时，经由所述处理槽的所述透明材质的部分、所述基板保持部件的所述透明部，对所述基板保持部件的内侧进行拍摄。
14.如权利要求8至13中任一项所述的基板处理装置，其特征在于，
所述摄像装置对所述基板保持部件内部的所述基板的面、以及所述基板保持部件内部的所述基板的径向外侧的被密封的空间中的至少一方进行拍摄，
所述基板处理装置还具有控制装置，该控制装置基于拍摄得到的图像数据检测所述基板及/或所述基板保持部件的异常。
15.如权利要求14所述的基板处理装置，其特征在于，
所述控制装置基于所述基板的正常及/或异常时的多个图像，学习对所述基板及/或基板保持件有无异常及/或异常程度进行判定的判定基准，并使用学习到的所述判定基准，根据所述图像数据判定所述基板及/或基板保持件有无异常及/或异常程度。
16.如权利要求14所述的基板处理装置，其特征在于，
所述基板处理装置经由有线或无线而与服务器连接，其中该服务器对基于从多个基板处理装置收集到的图像数据判定所述基板及/或基板保持件有无异常及/或异常程度的判定基准进行学习，
所述控制装置基于在所述服务器中学习到的判定基准，根据拍摄得到的所述图像数据判定所述基板及/或基板保持件有无异常及/或异常程度。
17.如权利要求14所述的基板处理装置，其特征在于，
所述基板及/或所述基板保持部件的异常包含所述基板的裂痕、及处理液向所述基板保持部件内的泄漏中的至少一方。
18.如权利要求14所述的基板处理装置，其特征在于，
所述控制装置基于所述图像数据，判定所述透明部的透明度的劣化。
19.一种基板处理装置的控制方法，其特征在于，包含：
在至少一部分具有透明部的基板保持部件上保持基板；
经由所述基板保持部件的所述透明部对所述基板保持部件的内部进行拍摄；和
基于拍摄得到的图像数据来检测所述基板及/或基板保持件的异常。
20.一种保存有程序的存储介质，保存有用于使计算机执行控制基板处理装置的方法的程序，其特征在于，所述程序用于使计算机执行如下处理：
在至少一部分具有透明部的基板保持部件上保持基板；
经由所述基板保持部件的所述透明部对所述基板保持部件的内部进行拍摄；
基于拍摄得到的图像数据来检测所述基板及/或基板保持件的异常。
技术总结
本发明提供基板保持部件、基板处理装置、基板处理装置的控制方法、保存有程序的存储介质，在基板处理装置中尽早发现基板及/或基板保持部件的异常。该基板保持部件具有：第1保持部件；在与上述第1保持部件之间保持基板的第2保持部件；和设在上述第1保持部件及上述第2保持部件中的至少一方的透明部。
技术研发人员：小泉龙也
受保护的技术使用者：株式会社荏原制作所
技术研发日：.02.12
技术公布日：.08.23
