6月15日，电科装备旗下烁科中科信公司12英寸中束流离子注入机顺利发往北京某集成电路大产线。
作者｜小如 校对｜小北
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集微网消息，6月15日，电科装备旗下烁科中科信公司12英寸中束流离子注入机顺利发往北京某集成电路大产线。
据电科装备官方消息，该台客户直接采购的设备如期交付，标志着国产离子注入机市场化进程迈向新台阶。北京烁科中科信公司是目前国内唯一一家全系列集成电路离子注入机研发、制造、服务于一体的供应商，致力于解决离子注入机关键技术自主可控难题，已形成中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等全系列离子注入机产品体系，建立了符合SEMI标准要求的离子注入机产业化平台，年产能达30台。此外，北京烁科中科信公司技术总监张丛表示，追平主流只是开始，成体系实现国产替代才是目标。公司自主研制的离子注入机系列产品在客户产线上累计跑片650万片，稳定支撑了客户量产。
图源｜网络
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